EUV — Licht der Zukunft?

Neuartige Lichtquellen: Wissenschaftler der RWTH Aachen, des Fraunhofer-Instituts für Lasertechnik (ILT) Aachen, der Firma Philips und Mitarbeiter der e-concept betreiben in diesem Bereich gemeinsam Spitzenforschung. Sie setzen hierbei die so genannte EUV-Strahlenquelle ein. EUV-Licht wird bei einer zentralen Wellenlänge von 13.5 nm von plasma-basierten Strahlungsquellen emittiert und ermöglicht eine Chipfertigung mit Strukturgrößen kleiner als 22 nm. EUV ist Abkürzung für die englische Bezeichnung Extreme Ultra Violet - diese Lichtquelle hat beste Chancen, als Strahlungsquelle die Nachfolge der derzeitigen Lasertechnik anzutreten.

Projektbeteiligte: Fraunhofer ILT, XTREME Technologies, USHIO, Uni Göttingen; 
Laboranlage zur Erzeugung von EUV-Licht/Halbleiter- u. Nanotechnologie

e-concept übernimmt in diesem Projekt entscheidende Aufgaben:

• Erstellung der Steuerungssoftware
• Erstellung der Hardwarekonstruktion
• Bau und Lieferung der erforderlichen Steuerung, Schaltschränke und Anlageninstallation
• Unterstützung des Kunden im Logistikbereich
• Projektumfang 4 Jahre